FOUP - FOUP

FOUP является аббревиатурой F Ront O pening U nified P ода или F Ront O pening U niversal P од.

Это специальный пластиковый корпус, предназначенный для надежного и безопасного удержания кремниевых пластин в контролируемой среде, а также для передачи пластин между машинами для обработки или измерения. FOUP начали появляться вместе с первыми 300-миллиметровыми инструментами для обработки пластин в середине 1990-х годов. Размер пластин и их сравнительно низкая жесткость означают, что SMIF не является жизнеспособной технологией. FOUP были разработаны с учетом ограничений в 300 мм, при этом съемная кассета была заменена ребрами в FOUP, которые удерживают пластины на месте, а нижняя открывающаяся дверца заменена передней открывающейся дверцей, чтобы механизмы обработки роботов могли получить доступ к пластинам. прямо из FOUP. Вес полностью загруженных 25 пластин FOUP около 9 килограммов означает, что автоматизированные системы обработки материалов необходимы для всех производственных предприятий, кроме самых маленьких. Для этого каждый FOUP имеет различные соединительные пластины, штифты и отверстия, позволяющие разместить FOUP на порте загрузки и управлять им с помощью AMHS ( Автоматизированная система обработки материалов ). FOUP могут также содержать RF- метки, позволяющие считывать их на инструментах, в AMHS и т. Д. FOUP доступны в нескольких цветах, в зависимости от желания клиента. FOUPs и ИК производственное оборудование может иметь в атмосфере азота, в целях повышения устройства урожайности .