Список литейных производств MEMS - List of MEMS foundries

В приведенном ниже списке представлен исчерпывающий обзор компаний, которые разрабатывают и производят устройства MEMS (микроэлектромеханические системы). К таким компаниям обычно относят понятие литейных производств . Предложение компаний варьируется в зависимости от используемого материала, объема производства и размера пластин, используемых для изготовления.

Компания Услуга Материалы подложки Объем производства Диаметр пластин (в дюймах) Тип Страна со штаб-квартирой


Asia Pacific Microsystems, Inc. Литейное производство MEMS Кремний, Сапфир, КНИ, Стекло, Кварц, Полимер, КМОП-пластины Производство в больших объемах 6 Чистая игра  Тайвань
Атомика Производство МЭМС, биочипов и фотоники, включая индивидуальный дизайн, разработку, прототипирование и крупносерийное производство Кремний, КНИ, боросиликат, плавленый кварц, стекло, пьезо и инженерные подложки Производство в больших объемах 6, 8 Чистая игра  Соединенные Штаты
Bosch Разработка и производство процессов МЭМС по индивидуальному заказу. Дополнительно: проектирование, сборка, тестирование, интеграция Кремний, КНИ, плавленый кварц или стекло, постобработка на 200 мм-CMOS пластинах Прототипирование, разработка, средний и большой объем 6, 8 IDM  Германия
CEA-LETI Индивидуальные MEMS, NEMS, BioMEMS: дизайн, процесс, производство, характеристика и упаковка Кремний, КНИ, стекло и КМОП-пластины. Периодические партии НИОКР и пилотная линия 8, 12 Чистая игра  Франция
CSEM Проектирование и разработка процессов MEMS, подход Lab-to-Fab. Основные области включают фотонику, микрофлюидику, компоненты часов и суровые условия окружающей среды. Обработка ниобата лития и карбида кремния - известные технологические кирпичи. Кремний, КНИ, ниобат лития, карбид кремния, плавленый кварц, кварц, стекло. Прототипирование, малые и средние объемы производства 6 Чистая игра   Швейцария
Hanking Electronics Услуги литейного производства MEMS класса 100, IMU MEMS (акселерометры / гироскопы с 6 степенями свободы), модули IoT и услуги проектирования MEMS. Литейные процессы включают: Осаждение пленки, осаждение металла, термическое соединение, склеивание пластин, процессы травления, включая DRIE и VHF, мокрые процессы и упаковку на уровне пластин. Кремний Производство в больших объемах 8 IDM  Китай
Honeywell Производство и проектирование МЭМС Кремний Производство в больших объемах 4, 6 IDM  Соединенные Штаты
IMEC Производство МЭМС малых и средних объемов (совместимых с КМОП), в т.ч. индивидуальный дизайн, разработка, постобработка и прототипирование Si, SOI, плавленый кварц или стекло; постобработка на пластинах CMOS (от 8 до 12 дюймов) Изготовление прототипов, производство малых и средних объемов; передача в литейный цех для больших объемов 8, 12 Чистая игра  Бельгия


iX-factory сейчас Micronit GmbH с 03/2016 Индивидуальный дизайн и производство МЭМС Кремний и КНИ, боросиликатное стекло или кварц, структурированная пластина Изготовление опытных образцов и среднесерийное производство 6, 8 Чистая игра  Германия
LioniX International Индивидуальный дизайн MEMS, разработка индивидуальных процессов, прототипирование и производство. Кремний, КНИ, плавленый кварц, боросиликатные стекла, термически окисленный кремний. Доказательство концепции, прототипирование, пилот

производство, малые и средние объемы.

4, 6 Чистая игра  Нидерланды
ООО «Наношифт» Контрактные НИОКР и производство с большим опытом обработки и интеграции. Специализируется на МЭМС, микрофлюидике, кремниевой фотонике, TSV, интеграции CMOS и других новых технологиях. Кремний, SOI, стекло, гибкие подложки, полимеры и другие материалы. Подтверждение концепции, разработка процесса, прототипирование, от малого до среднего объема 2, 3, 4 и 6 IDM  Соединенные Штаты
SCL Разработка, производство и упаковка CMOS & MEMS; микротехнология Кремний, КНИ и различные стекла От мелкосерийного производства 6,8 Чистая игра  Индия
Картограф Разработка и производство процессов МЭМС Кремний, КНИ и различные стекла, пьезоэлектрические материалы Малый объем и прототипирование 4 Чистая игра  Россия
Микрожидкостное литейное производство Разработка и производство BioMEMS Кремний, Стекло, SU8 / PDMS, Полимер НИОКР, производство мини-серий IDM  Соединенные Штаты
NaugaNeedles, LLC. (NN) Литейное производство МЭМС, производство МЭМС Стеклянные вафли, кварцевые вафли, кремниевые вафли, структурированные вафли, SOI-вафли и связующий материал. Производство в больших объемах 6 Чистая игра  Соединенные Штаты
nanoPHAB Услуги микро- и нано-изготовления, производство нано-МЭМС, ASIC Материалы III-V, GaAs, InP, Si, оксинитриды, стекло, полимеры, мультиматериалы Эпи-рост, прототипирование и консультирование. Производство от малых до средних объемов. Мост к большой громкости. 2, 3, 4 Чистая игра  Нидерланды
NEMS и MEMS Proto Fab (NMPF) Производство МЭМС, услуги микротехнологии Кремний, стекло, кварц, пластины SOI От малого до среднего объема и прототипирования 2, 4 Чистая игра  Индия
Литейное производство Philips MEMS Индивидуальные МЭМС и микросборки, разработка и производство процессов, сертифицированные для медицинских устройств Кремний, КНИ, стекло, кварц и КМОП-пластины. Прототипирование, производство малых и средних объемов 6, 8 Чистая игра  Нидерланды
Микроустройства Rogue Valley Литейное производство MEMS и проектирование / производство кремниевых пластин для микроэлектроники и биомедицины.

Rogue Valley Microdevices предлагает MEMS Foundry: макет фотошаблонов, изготовление устройств на сапфировых, кварцевых и керамических пластинах, изготовление MEMS на CMOS-пластинах, изготовление подвесных мембран, выравнивание спереди назад, шаговая литография I-Line, напыление фоторезиста, напыление драгоценных металлов и нанесение рисунка , Многослойные металлические пленки, включая припой Au / Sn, диэлектрические и резистивные материалы с реактивным напылением, осаждение диэлектрической пленки LPCVD и PECVD, протравливание кремния KOH и TMAH, обработка металла методом отрыва, обработка полиамида

Кремний, сапфир, кварц и керамика

Поликремний, термически окисленный кремний, стехиометрический нитрид LPCVD, оксид PECVD

Прототипирование, пилотное производство, производство малых и средних объемов 2, 4, 6, 8 Чистая игра  Соединенные Штаты
Семефаб Производство МЭМС Производство в больших объемах 4, 6 Чистая игра  Объединенное Королевство
Sensera Услуги МЭМС и микротехнологии Прототипирование, малые, средние объемы и переход к крупносерийному производству 6; вспомогательные услуги микротехнологии Чистая игра  Соединенные Штаты
Silex Microsystems Разработка и производство процессов МЭМС Кремний, КНИ, Стекло Создание прототипов и крупносерийное производство 8 Чистая игра  Швеция
СИНТЕФ МинаЛаб Индивидуальные МЭМС, БиоМЭМС, пьезоМЭМС и микрооптика. Моделирование и проектирование, разработка процессов, тестирование и характеристика. Кремний, КНИ, Стекло Изготовление прототипов, производство малых и средних объемов; передача в литейный цех для больших объемов 6 Чистая игра  Норвегия
СОНИ Разработка и производство МЭМС Кремний, КНИ Создание прототипов и крупносерийное производство 6, 8 IDM  Япония
STMicroelectronics MEMS (включая акселерометры, гироскопы, цифровые компасы, инерциальные модули, датчики давления, датчики влажности и микрофоны) Кремний Производство в больших объемах IDM   Швейцария
Теледайн ДАЛЬСА Разработка и производство MEMS с интеграцией индивидуальных литейных процессов Кремний и поликремний Производство в больших объемах 6, 8 Чистая игра  Канада
Teledyne Micralyne Проектирование, изготовление и упаковка МЭМС; микротехнология Кремний, КНИ и различные стекла От масштабирования до крупносерийного производства 6 Чистая игра  Канада
Инструменты Техаса Разработка и производство МЭМС Кремний Производство в больших объемах IDM  Соединенные Штаты
Тауэр Джаз Производство ИС Кремний Производство в больших объемах 6, 8 Чистая игра  Израиль
Tronics Разработка и производство МЭМС Кремний, КНИ и стеклянная пластина Прототипирование, мелкосерийное и крупносерийное производство 6 Чистая игра  Франция США
 
TSMC Разработка и производство МЭМС Кремний Производство в больших объемах 6, 8, 12 Чистая игра  Тайвань
uFluidix Производство МЭМС и микрофлюидики Кремний, стекло, ПДМС Низко-средний объем производства Чистая игра  Канада
UMC Производство МЭМС Кремний Производство в больших объемах 8 Чистая игра  Тайвань
Wunderlichips фокус на устройствах PDMS, разработка процессов Кремний, СУ8 \ ПДМС НИОКР, малый объем 4, 6, 8 Чистая игра   Швейцария
Xfab Разработка и производство МЭМС Кремний и стекло Производство в больших объемах 6, 8 Чистая игра  Германия
MEMSCAP Производство МЭМС Массовая микрообработка: кремний, SOI

Микрообработка поверхности: поликремний, нитрид, оксид, ПСГ

Обработка толстого металла: Cu, Au, Ni и Pt

Прототипирование, производство в малых, средних и больших объемах 6 Чистая игра  Франция