Закон Клайбера - Klaiber's law
Проще говоря, закон Klaiber в предполагает , что « кремниевая пластина размера будет диктовать наибольший диаметр сверхчистой воды для подачи труб , необходимых в полупроводниковых пластинах завода. »
Сверхчистая вода (UPW) широко используется на этапах изготовления компьютерных микрочипов. Эти микрочипы изготавливаются на круглых тонких кремниевых подложках, называемых пластинами .
С 1990-х годов трубы, фитинги и клапаны, используемые для транспортировки UPW, резко увеличились в диаметре и, следовательно, увеличился поставляемый объем или использование галлонов в минуту. Поливинилиденфторид (ПВДФ) был предпочтительным материалом для больших трубопроводов для передачи UPW. PVDF также упоминается в стандарте ASTM D 5127-07 Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности, как необходимое для поддержания высочайшего качества воды.
В начале 1990-х годов наблюдение, сделанное доктором Феликсом Клайбером, с тех пор было названо законом Клайбера. Он осознал, что переход полупроводников от использования кремниевых пластин диаметром от 100 мм до 150 мм (когда самые большие каналы в системах UPW из PVDF имели внешний диаметр всего 110 мм) вскоре сменился потребностью в более крупных трубах из PVDF диаметром 160 мм. Для следующего перехода к кремниевым пластинам диаметром 200 мм через несколько лет потребовались трубы из ПВДФ диаметром 225 мм. Совсем недавно переход полупроводников к пластинам диаметром 300 мм потребовал создания еще более крупных систем UPW с трубами диаметром 315 мм.
Начиная с более раннего постулата доктора Клайбера, взаимосвязь между размером пластины и диаметром трубок из ПВДФ наблюдалась другими. Без ведома Либмана и др., Во время презентации 2010 г. обсуждалась позиция, идентичная закону Клайбера; что текущий размер труб из ПВДФ высокого давления (высокой чистоты) ограничен 12 дюймами (305 мм) и что исторически размер пластины совпадал с диаметром основных линий. Либман сомневается, сохранится ли эта тенденция для пластин диаметром 450 мм.
Рекомендации
- ^ Burkhart M, Wermelinger J и Klaiber F, "Безопасны ли трубопроводы из поливинилиденфторида для горячей сверхчистой воды?", MICRO, 13 (2): pp 27-31, 1995
- ^ Burkhart M, Wagner G и F Klaiber, «выщелачивания Характеристики Поливинилденфторид и полипропилена» сверхчистой воды, май / июнь 1997 года: С. 30-33
- ^ ASTM International, 100 Barr Harbor Drive, PO Box C700, West Conshohocken, PA 19428-2959
- ^ Wermelinger J, Mueller HP и Burkhart M, «Новые 450-мм ПВДФ Трубопроводные системы для транспортировки высокой чистоты воды в полупроводниковых растений» сверхчистой воды, июль 2011: С. 15-19
- ^ Либман С., Буссер Д. и Экберг Б. "Следующее поколение распределительной системы UPW для следующего поколения полупроводниковых фабрик"