Электростатическое осаждение из паровой фазы - Electrostatic spray-assisted vapour deposition

Электростатическое напыление из паровой фазы ( ESAVD ) - это метод (разработанный компанией IMPT) для нанесения как тонких, так и толстых слоев покрытия на различные подложки . Проще говоря, химические прекурсоры распыляются через электростатическое поле на нагретую подложку, химические вещества подвергаются контролируемой химической реакции и осаждаются на подложке в виде необходимого покрытия. Электростатические методы напыления были разработаны в 1950-х годах для напыления ионизированных частиц на заряженные или нагретые подложки.

ESAVD (торговая марка IMPT как Layatec) используется во многих приложениях на многих рынках, включая:

  • Термобарьерные покрытия для лопаток турбин реактивных двигателей
  • Различные тонкие слои при производстве плоских дисплеев и фотоэлектрических панелей, тонкопленочные солнечные элементы на основе CIGS и CZTS.
  • Электронные компоненты
  • Биомедицинские покрытия
  • Покрытия для стекла (например, самоочищающиеся)
  • Покрытия для защиты от коррозии

Этот процесс имеет преимущества по сравнению с другими методами осаждения слоев (плазменным, электронно-лучевым) в том, что он не требует использования какого-либо вакуума , электронного луча или плазмы, что снижает производственные затраты. Он также использует меньше энергии и сырья, что делает его более экологически чистым. Кроме того, использование электростатического поля означает, что процесс может легко покрывать сложные трехмерные детали.

Рекомендации

дальнейшее чтение

  • "Кван-Леонг Чой - укладывая его на толстые и тонкие". Мир материалов . Июнь 2003 г. Электростатическое осаждение из паровой фазы (ESAVD), о котором впервые было сообщено в журнале Materials World в марте 1998 г., представляет собой метод изготовления пленок и нанокристаллических порошков. Изобретатель описывает продолжающийся прогресс.
  • Чой, К.Л., «Принципы процесса и применение новых и экономичных методов, основанных на ESAVD», в « Инновационная обработка пленок и нанокристаллических порошков» , К.Л. Чой. изд. (Всемирная научная издательская компания). 2002. С. 15–69. ISBN   1-86094-316-0 .
  • Чой, К.Л., "Обзор достижений в методах обработки: пленки и нанокристаллические порошки", в инновационной обработке пленок и нанокристаллических порошков , Чой, изд. К.Л. (Imperial College Press), 2002, 1–14. ISBN   1-86094-316-0
  • Чой К.Л., Прогресс в материаловедении , 48, 57 (2003).
  • Чой, К.Л., "Обработка наноструктурированных материалов паром", в Справочнике по наноструктурированным материалам и нанотехнологиям , Nalwa, HS ed. (Academic Press) 2000, 533. ISBN   0-12-513760-5 . Choy, KL, Feist, JP, Heyes, AL и Su, B., J. Mater. Res. 14 (1999) 3111.
  • Чой, К.Л., "Инновационное и экономичное нанесение покрытий методом ESAVD", Surface Engineering , 16 (2000) 465.
  • Р. Чандрасекар и К.Л. Чой, «Электростатическое напыление из паровой фазы легированного фтором оксида олова», Journal of Crystal Growth , 231 (1-2) (2001) 215.