Трихлорсилан - Trichlorosilane
|
|||
Имена | |||
---|---|---|---|
Название ИЮПАК
трихлорсилан
|
|||
Другие имена
силилтрихлорид, силикохлороформ
|
|||
Идентификаторы | |||
3D модель ( JSmol )
|
|||
ChemSpider | |||
ECHA InfoCard | 100.030.026 | ||
Номер ЕС | |||
PubChem CID
|
|||
Номер RTECS | |||
UNII | |||
Номер ООН | 1295 | ||
Панель управления CompTox ( EPA )
|
|||
|
|||
|
|||
Свойства | |||
HCl 3 Si | |||
Молярная масса | 135,45 г / моль | ||
Внешность | бесцветная жидкость | ||
Плотность | 1,342 г / см 3 | ||
Температура плавления | -126,6 ° С (-195,9 ° F, 146,6 К) | ||
Точка кипения | 31,8 ° С (89,2 ° F, 304,9 К) | ||
гидролиз | |||
Опасности | |||
Паспорт безопасности | ICSC 0591 | ||
Классификация ЕС (DSD) (устарела)
|
Легковоспламеняющийся ( F + ) Вредно ( Xn ) Коррозионный ( C ) |
||
R-фразы (устаревшие) | R12 , R14 , R17 , R20 / 22 , R29 , R35 | ||
S-фразы (устарели) | (S2) , S7 / 9 , S16 , S26 , S36 / 37/39 , S43 , S45 | ||
NFPA 704 (огненный алмаз) | |||
точка возгорания | -27 ° С (-17 ° F, 246 К) | ||
185 ° С (365 ° F, 458 К) | |||
Пределы взрываемости | 1,2–90,5% | ||
Родственные соединения | |||
Родственные хлорсиланы
|
Хлорсилан Дихлорсилан Дихлорметилсилан Хлородиметилсилан Тетрахлорид кремния |
||
Родственные соединения
|
Trifluorosilane трибромсилан Хлороформ |
||
Если не указано иное, данные приведены для материалов в их стандартном состоянии (при 25 ° C [77 ° F], 100 кПа). |
|||
проверить ( что есть ?) | |||
Ссылки на инфобоксы | |||
Трихлорсилан представляет собой неорганическое соединение с формулой HCl 3 Si. Это бесцветная летучая жидкость. Очищенный трихлорсилан является основным прекурсором сверхчистого кремния в полупроводниковой промышленности. В воде он быстро разлагается с образованием силиконового полимера с выделением соляной кислоты . Благодаря своей реакционной способности и широкой доступности он часто используется в синтезе кремнийсодержащих органических соединений.
Производство
Трихлорсилан получают путем обработки порошкового металлургического кремния продувкой хлористого водорода при 300 ° C. Также образуется водород, как описано в химическом уравнении :
- Si + 3 HCl → HCl 3 Si + H 2
Может быть достигнута урожайность 80-90%. Основными побочными продуктами являются тетрахлорид кремния ( химическая формула SiCl 4 ), гексахлордисилан (Si 2 Cl 6 ) и дихлорсилан (H 2 SiCl 2 ), от которых трихлорсилан можно отделить перегонкой .
Также производится из тетрахлорида кремния:
- Si + 3 SiCl 4 + 2 H 2 → 4 HCl 3 Si
Приложения
Трихлорсилан является основным ингредиентом, используемым при производстве очищенного поликремния .
- HCl 3 Si → Si + HCl + Cl 2
Ингредиент в гидросилилировании
В результате гидросилилирования трихлорсилан является предшественником других полезных кремнийорганических соединений:
- RCH = CH 2 + HSiCl 3 → RCH 2 CH 2 SiCl 3
Некоторые полезные продукты этой или подобных реакций включают октадецилтрихлорсилан (OTS), перфтороктилтрихлорсилан (PFOTCS) и перфтордецилтрихлорсилан (FDTS). Эти реагенты используются в науке о поверхности и нанотехнологии для образования самоорганизующихся монослоев . Такие слои, содержащие фтор, уменьшают поверхностную энергию и уменьшают прилипание. Этот эффект обычно используется в качестве покрытия для МЭМС и микроизготовленных штампов для литографии наноимпринтов (NIL) и в инструментах для литья под давлением .
Органический синтез
Трихлорсилан - это реагент превращения бензойных кислот в производные толуола. На первой стадии двухреакторной реакции карбоновая кислота сначала превращается в трихлозилилбензильное соединение. На второй стадии производное бензильного силила превращается в производное толуола с помощью основания.
Ссылки
- ^ Lianhong Xu, Ravi Курукуласурия, "трихлорсилан" Энциклопедия Реагенты для органического синтеза, 2006. DOI : 10.1002 / 047084289X.rt213.pub2
- ^ Симмлер, В. "Соединения кремния, неорганические". Энциклопедия промышленной химии Ульмана . Вайнхайм: Wiley-VCH. DOI : 10.1002 / 14356007.a24_001 .
- ^ Чех J, Табориски R (2012). «Стабильность однослойного покрытия FDTS на алюминиевых инструментах для литья под давлением». Прикладная наука о поверхности . 259 : 538–541. Bibcode : 2012ApSS..259..538C . DOI : 10.1016 / j.apsusc.2012.07.078 .
- ^ Джордж С. Ли, Дэвид Ф. Элер, Р. А. Бенкесер "Метильные группы восстановлением ароматических карбоновых кислот трихлорсиланом - три-н-пропиламин: 2-метилбифенил" Орг. Synth. 1977, том 56, с. 83. doi : 10.15227 / orgsyn.056.0083